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Drehratensensor in Mikrosystemtechnik
Realisierung eines Drehratensensors in Mikrosystemtechnik. Die gesamte Struktur ist nur etwa 1 mm² groß und schwingt 2000-mal je Sekunde in einer Drehschwingung um die Hochachse. Die Gitterstruktur im Innenbereich ist fertigungsbedingt.
![Drehratensensor in Mikrosystemtechnik Mikroskopaufnahme: Ein Kreis mit Riffelstruktur geht links und rechts in eine Art halbrunden Seitenstreifen über, zusammen formt sich so fast ein Oval; an den vier "Ecken" sind Rillenstrukturen sichtbar.](/fileadmin/_processed_/3/f/csm_1998_Drehratensensor_Hahn-Schickard_7de1794d2e.jpg)
Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/