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Wachstum von Zinksulfid

Beispiel eines ALD-Wachstumzyklus. Nach sukzessiver Reaktion von Zinkchlorid und Schwefelwasserstoff mit der Oberfläche bleibt eine Lage Zinksulfid zurück.

Schema der Reaktion. Schwefelwasserstoffmoleküle sind mit einer nicht näher definierten Schicht verbunden. Im ersten Schritt reagiert Zinkchlorid als Präkursor A mit dem Schwefelwasserstoff, Zink und Chlor verbinden sich mit dem Schwefel, als Nebenprodukt wird Salzsäure, bestehend aus Chlor und Wasserstoff, abgespalten. Im zweiten Schritt findet eine Reaktion mit freien Schwefelwasserstoffmolekülen statt, abermals wird Salzsäure abgespalten, es entsteht Zinksulfid. Die Einzellage aus Zinksulfid kann sich von der Ausgangsschicht abspalten und der Vorgang beginnt von neuem.

Welt der Physik

Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/