Media
Illustration des ALD-Prinzips
Schematische Darstellung eines ALD-Wachstumszyklus. In zwei Stufen werden Präkursor aufgebracht, wodurch sich die gewünschte Schicht selbstkontrolliert abscheidet.
Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/
Schematische Darstellung eines ALD-Wachstumszyklus. In zwei Stufen werden Präkursor aufgebracht, wodurch sich die gewünschte Schicht selbstkontrolliert abscheidet.
Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/