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Illustration des ALD-Prinzips

Schematische Darstellung eines ALD-Wachstumszyklus. In zwei Stufen werden Präkursor aufgebracht, wodurch sich die gewünschte Schicht selbstkontrolliert abscheidet.

Schematische Darstellung, im ersten Schritt ist eine Struktur mit gleichmäßigen Vertiefungen zu sehen. Im zweiten Schritt setzen sich die Präkursor-A-Moleküle in die Vertiefugen und bilden so eine zweite Schicht über der ursprünglichen Struktur. Im dritten Schritt setzen sich darauf wieder Präkursor-B-Moleküle. Die so gebildete Schicht aus Präkursor A und B kann sich dann abscheiden und der Zyklus beginnt erneut.

Welt der Physik

Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/