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Herstellungsschema der Anoden

In Kammer 1 werden Nanopartikel aus Tantal hergestellt. Durch Kammer 2 gelangen die Partikel mit geeigneter Masse in Kammer 3. Dort bilden sie eine Schicht und werden mit Siliziumatomen bedeckt. Dieser Prozess wiederholt sich, sodass die Forscher eine mehrlagige Struktur für die Anoden herstellen.