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Wachstum von Zinksulfid
Beispiel eines ALD-Wachstumzyklus. Nach sukzessiver Reaktion von Zinkchlorid und Schwefelwasserstoff mit der Oberfläche bleibt eine Lage Zinksulfid zurück.
Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/
Beispiel eines ALD-Wachstumzyklus. Nach sukzessiver Reaktion von Zinkchlorid und Schwefelwasserstoff mit der Oberfläche bleibt eine Lage Zinksulfid zurück.
Quelle: https://www.weltderphysik.de/media/