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Drehratensensor in Mikrosystemtechnik

Realisierung eines Drehratensensors in Mikrosystemtechnik. Die gesamte Struktur ist nur etwa 1 mm² groß und schwingt 2000-mal je Sekunde in einer Drehschwingung um die Hochachse. Die Gitterstruktur im Innenbereich ist fertigungsbedingt.