Im Reinraum der Uni Ulm: Arbeiten im Reinraum

Bei einem Besuch an der Universität Ulm bekam ich neulich eine Führung durch den Reinraum. Was dort gemacht wird, und was ein Reinraum überhaupt ist, möchte ich euch mit meinen beiden Fotostrecken erklären. In diesem zweiten Teil geht es um den Reinraum selbst, und wie darin gearbetiet wird.

Halbleiter sind eine besondere Art von metallischem Material. Sie eignen sich besonders für kleine und kleinste elektronische Schaltungen, wie sie heute zum Beispiel in jedem Telefon zu finden sind. Typische Größen dieser Strukturen liegen im Bereich von 50 Nanometer (1 nm = 10-9 m) bis zu 1 Mikrometer (1 µm = 10-6 m).

Um zu erklären, wie ein Reinraum bei deren Herstellung behilflich ist, sollte erklärt werden, was das ist:

Auf einem Flur mit schweren Türen steht ein Mann in Schutzkleidung und Haarhaube. Er ist im Begriff, eine rote Tür neben sich zu öffnen.
Zugang zum Reinraum

Ganz allgemein betrachtet ist ein Reinraum einfach ein Raum, in dem es besonders sauber ist – wie der Name ja schon verrät. In normaler Raumluft befinden sich etliche Millionen Staubteilchen pro Kubikmeter, die möglichst nicht während der Herstellung auf Halbleiterelemente gelangen sollten. Reinräume gibt es nicht in der Forschung wie an der Uni Ulm; auch ein OP-Saal im Krankenhaus ist beispielsweise ein Reinraum, denn dort ist es natürlich wichtig, Krankheitserreger draußen zu halten, die auch nur 10–500 Nanometer groß sein können.

Der Grund dafür, dass die Schmutzpartikel nicht auf die Halbleiter gelangen sollten, ist einfach: Sie würden die Funktion der hergestellten Bauelemente stören, weil sie ähnlich groß sind wie die Bauteile selbst. Genau wie ein Sofa im Türrahmen die Funktion einer Tür beeinträchtigt, ist Staub mit Partikelgrößen im Bereich von Bruchteilen eines Mikrometers störend für feinste Elektronik.

Der zweite Teil meiner Fotoserie zeigt, welche Maßnahmen die Mitarbeiter ergreifen müssen, um eine hohe Qualität für die Halbleiter zu erzielen.

Arbeiten im Reinraum
Zum Starten der Fotostrecke das Bild anklicken!

Nicht verpassen: Der erste Teil der Fotostrecke