Klare Sicht auf scharfe Kanten

Bilder 7a - 7c: Die Grenzfläche zwischen Silizium (Si, untere Bildhälfte) und Kobalddisilizid (obere Bildhälfte) wurde mit hochauflösenden Methoden sichtbar gemacht. Die Aufnahmen 7 a) und 7 b) wurden mit einem unkorrigierten Mikroskop mit unterschiedlicher Fokussierung der Objektivlinse aufgenommen, während die Aufnahme 7 c) mit einem korrigierten Mikroskop desselben Typs erstellt wurde. Die mit dem korrigierten Mikroskop aufgenommene Abbildung 7 c) weist keine sichtbaren Delokalisationsartefakte auf und die Grenzfläche ist scharf abgebildet.